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我与贝意克的故事---人物专访
【第二期】优良休息表率
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联袂并进 再铸辉煌 ——百思个人成功召开股权鼓励公布年夜会
2022年5月8日上午,个人公司股权鼓励公布会暨首批持股员工签约典礼正式召开。个人董事长孔令杰师长西席、总经理李晓丽密斯和个人高管、各天性机能部分卖力人插手了此次会议。



会上,董事长简述了百思个人生长的畴昔和将来,并为与会职员描画了百思宏伟蓝图及夸姣的远景与将来,极年夜的奋发和鼓舞了员工士气;并请求全部员工“顺时势、树典范、明思路、分步调、理关系”,相互共同、主动主动地展开事情,为个人接上去的各项事情有序展开打下坚固的根本。

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随后,李总讲授了股权鼓励的思惟和计划,阐述在市场合作狠恶明天,公司运营体制必须向更优、更强标的目标迈进,而股权鼓励就是很好体例,引凤筑巢,分股合心,集结人才,在共同奇迹中互动、升华,成绩年夜家更夸姣的将来!

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接上去,迎来本次年夜会的首要环节-股权鼓励签约典礼,由董事长向鼓励工具献上光荣的鲜花,绶带,颁布签约本,并宣誓合影纪念



最后,鼓励工具代表车总、孙总别离为年夜家分享本身的拼搏的经历和成功的法门;年夜家也畅所欲言、高谈雄辩,现场氛围轻松、活泼。



“股改放飞胡想,立异引领将来”本次个人公司实施股权鼓励政策,必将对企业高质量生长具有本色性鞭策感化,在企业生长史上写上浓墨重彩的一笔。最后我们祝贺百思个人借股权鼓励启动春风,获得辉煌事迹,共赢夸姣明天!

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产品称呼

电子束、电阻蒸发体系

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400-0033603
产品描述
产品参数

装备技术请求:

可以用于蒸镀半导体、金属膜,纳米级单层及多层服从膜。

1、真空室:

1.1、真空室内腔尺寸:500×500×750mm

1.2、真空室质料:全部真空室采取 SUS304 不锈钢质料制造,内大要抛光,外大要喷丸措置;极限真空度高。

1.3、真空室布局:真空室四周配有不锈钢防污染樊篱板(供应两套、一套备用);前开门后置抽气体系布局,四壁壳体外壳水冷,采取不锈钢水冷槽通水冷却。

1.4、察看窗:Φ100mm察看窗2个,察看窗内有遮挡活动板,配有两套防辐射射玻璃(一套备用)。

1.5、CF35陶瓷封接引线法兰:2个(照明及内烘烤引线1个、预留空置6芯电极法兰1个)

1.6、晶振膜厚仪接口1个

2、工件架扭转与烘烤:

2.1、采取调速机电调度转速、磁流体密封;3 到 60rpm 无级调速,

2.2、样品托盘尺寸别离为:采取吊挂式布局按放样品各一套,详细可参考加工图纸与贵方确认后再加工。

2套盘的开孔尺寸按买方需求由乙方设想并加工,两边和谈。

2.3、样品台采取液氮冷却。

2.4、基片与蒸发源之间间隔550~650mm可调,由腔外电动波纹管调度机构在线节制;

3、等离子体产生器

3.1、离子轰击:轰击电压3000V,电流160mA及以上。可洗濯样品大要。

3.2、配轰击铝棒1根

3.3、配套质量流量计一套。

4、蒸发源:

电子束蒸发源:

4.1、用超高真空E型电子枪;

4.2、270°E型电子枪及高压电源,电子枪功率0--8KW可调;

4.3、电子枪阳极电压:8kv、10 kv;两挡

4.4、电子束可二维扫描调度,最年夜扫描正负15mm(X,Y);

4.5六工位水冷式电动坩埚;每穴容积11-22ml                           

4.6、可调角度气动节制蒸发挡板,采取磁流体密封;

4.7、电子枪配有触摸屏,可远控;

4.8、带有高压灭弧主动复位服从。

电阻蒸发源:

装备一套电阻蒸发源,含一套2KW数字式蒸发电源。

★5、真空抽气体系

5.1、复合分子泵与节制电源:可达6.0×10-5Pa,真空漏率≤10-7Pa.l/s,真空室从年夜气到抽到≤6.0×10-4Pa,小于40min。

5.2、分子泵与真空室连接采取DN250气动挡板阀门;

5.3、机器泵和分子泵连接采取不锈钢金属波纹管;

5.4体系漏率:体系停泵关机12小时后,真空室的真空度≤10Pa。

6、膜厚节制:

采取石英晶体振荡膜厚节制仪

◇用于监控镀膜蒸发速率及节制膜层物理厚度

◇配单个水冷探头

◇监测膜厚显现范围:0~99μ9999Å

◇厚度辩白率:0.1Å

◇速率显现辩白率:  0~9999.9 Å

◇节制精度:        0.1 Å

◇可与电子枪联动,主动镀膜。

 

7、真空测量体系:

复合数显真空计                               

热偶规: 1.0x103Pa ---1.0x10-1Pa                              

电离规:(CF35刀口法兰) 1.0x10-1Pa ---1.0x10-5Pa

8、水冷体系

装备水冷循环体系:满足装备需求(功率年夜于2kW)

9、其他:

9.1不锈钢紧固螺栓、螺母、垫片等              

9.2产品相关的金属密封铜圈及氟橡胶密封圈     1套

9.3电子枪灯丝                  5           

9.4坩埚                           10            

9.5 配一套质量流量计,用来节制工艺气体通断。

 

首要技术机能目标

2.1体系布局道理

该体系为单真空室建设,真空室尺寸500×500×750mm3(按照设想需求恰当调剂),腔体采取304不锈钢加工而成,内大要抛光,外大要喷丸措置。为便于尝试操纵采取侧开门情势,抽气口后置,门上装备玻璃察看窗(含防污染挡板),考虑到装备清理及保护的需求,真空室上盖可开启,镀膜过程在该真空室内完成。同时考虑到体系拓展需求,预留所需法兰接口。

电子枪及蒸发电极装置在真空底板上。电子枪选勤奋率为8KW、六工位水冷坩埚E型电子枪。

基片架采取焊接波纹管+磁流体布局,样品托采取拱形布局,最年夜直径为350mm,蒸距450-550 mm可调,操纵焊接波纹管变形获得。基片转速率3-60转/分,可控可调(步进机电节制)。结果图以下所示:

别的样品台可扭转,可加液氮冷却。

2.2 真空获得道理

真空获得体系采取分子泵+机器泵机组来实现:操纵涡轮分子泵作为主泵,机器旋片泵作为预抽+前级泵对真空室抽气

 

真空度节制经由过程和主泵相连的挡板阀来实现,各种阀门均采取超高真空阀门辅以金属密封;管道及接

口采取紧密不锈钢管、压抑波纹管束作而成。

堆积体系

3.1电子枪

如图3所示:

 

本装备配套电子枪的长处:

1、是仿日本焦耳电子枪可与焦耳电子枪机能相当。

2、能量漫衍均匀,束斑小,垂直入射,电子枪不挖坑,根基上平面团体蒸发,光斑直径¢5-¢25可调,扫描体例方形、圆欢圆面可设,并可记忆16位坩埚扫描频次、幅度年夜小、扫描体例及斑点地位。对操纵者依耐烦减少,使产品的反复性获得比较年夜的改良。

3、 X Y频次高,能高速扫描,10---250HZ。

4、各单位为分体式便利维修和查抄。

扫描电源长处:

1采取海内先进技术智妙手操器,经由过程串行总线I2C与扫描主机连接,运行安端赖得住;能节制束斑 束流 坩埚 挡板等。

2能与计较机通信,并有RS232(或RS485)通信接口,对镀膜装备实现主动节制起到首要感化。

3束斑地位记忆,在人工形式下能对束斑地位及年夜小,频次 波形形式 16位坩埚记忆服从。

4环行面积密度可挑选1---20条,X标的目标的上下电流可设置,从而庇护光斑不打到坩埚下面。

5偏磁体例:改进型永久磁铁减少扎坑征象,可使电子束以垂直角度入射蒸镀膜料,及增加蒸发膜料的利用面积,并使膜料更加均匀的蒸发。

高压长处:

1伶仃的高压柜,采取日本焦耳电源节制体例,包管安端赖得住。

2电源仪器可用于50HZ 60HZ的电源;采取移相触发器节制体例,合用于阻性 理性负载,变压器一侧。

3节制装配有过流 过热 SCR庇护服从,具有软启动 软关断服从,减少对电网的打击滋扰。

4 高压具有恒流恒压服从,在空载与加负载时功率不变,对镀膜起非常首要感化。

3.2 电阻蒸发体系

体系装备一套水冷蒸发电极,以下图所示,蒸发电源电压5、10V可选,电流250A,最年夜输入功率2Kw,装备数显电流表;

别的蒸发源装备主动节制挡板:1套;

 

3.3 膜厚节制

体系装备石英晶振膜厚节制仪一套,含水冷探头1只。用于在线监测制备膜层厚度和膜层堆积速率等。

3.4 低温扭转样品台(选配。标配采取加热扭转样品台)

体系装备一套液氮冷却转台,转台示企图以下:

 

3.5 预留接口

为拓展真空室服从,可以遵循利用方的请求预留各种接口法兰。

 

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